洁净室空气通过进气系统像“活塞”一样被压缩进入洁净室。气流经过初效过滤器，再经过中效过滤器，再经过高效或超高效过滤器，将洁净空气引入洁净室，使洁净室内的空气粉尘颗粒迅速达到相应洁净室标准的要求，洁净室的污染可以排放。为了节约能源，排出的污染空气经回风后通过高效或超高效过滤器送至洁净室。

根据ED净化过滤器的性能（效率、阻力和粉尘容量），通常将其分为六类：一次效率、中效率、高效、次效率、高效（HEPA）和超高效（ULPA）。

国家标准《空气过滤器》GB/t14295-93对不同过滤器的效率和阻力规定如下：

根据国家标准《高效空气过滤器》gb13554-92，高效过滤器分为四类：A、B、C和D。D类也称为超高效滤光片（或0.1μM高效滤光片或超低透射率滤光片）。

粗滤器

粗滤器主要用于空调通风系统的粗滤、洁净室回风过滤和局部高效过滤装置的预过滤。主要用于过滤5μM及以上的粉尘颗粒，采用重量法进行测试。它也用于多级过滤系统的初级保护。过滤材料包括无纺布、尼龙网、铝波网、不锈钢网等。无纺布过滤材料的出风口表面经过抛光，防止无纺布纤维断裂和分散造成二次污染。

中效过滤器

乐发II500中效空气过滤器适用于电子、精密仪器、机械、医药、食品等行业的高效过滤器预过滤、空调系统中间过滤、空气净化过滤。主要不用于过滤1-5μM及以上的粉尘颗粒和各种悬浮物，具有粉尘容量大、风量大、阻力低、可重复清洗使用等特点。

高效过滤器

高效空气过滤器适用于净化设备和净化系统的末端过滤和洁净厂房的最终过滤。高效过滤器分为HS隔膜高效过滤器、HR超低阻非隔膜高效过滤器、Hu超高效滤芯隔膜过滤器、HT耐高温高效过滤器等产品。